尊龙凯时·(中国)人生就是搏!

　　质料流量掌握器（MFC）质料流量掌握器（MFC）用于对气体的质料流量举办严谨衡量和掌握。它正在半△导体和集成电道工业、特种原料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等众种规模的科研和…出产□中★有着紧要的 利用。其外率的利用形势征求：电子工艺摆设，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀腊摆设、光纤熔炼、微响应装备、混气配气编制、气体取样< stro n □ g> 锥形○孔板流○= 量计< /stron★g >、毛细管衡量、气相色谱仪及其 它认识仪○器。D07系列质料 流量掌握用具有精度高、反复性好、流量量程宽、反映速率速尊龙凯时人生就博锥形孔板流量计斯普瑞喷嘴选型手册、软启动、安定牢靠、做事压力限度宽等○特质            斯普瑞喷嘴选型手册，其操作应用卓殊便当，可肆意位子装置，并便于与揣★测机结合 完成自○愿掌握。它也能够动作质料流量计(M★○F◁M)应用，对气体的瞬时流量和累积流量举办切确计量。D07系列质料流量掌握▽器通常与D08系列流量显示■仪等配套产物配合应用。质料流量掌握器（MFC）由流量传感器，分流器通道，流量治疗阀和放大掌握电道 等部件构成。流量传感器采用毛细管传热温差量热法道理衡量气体的质料流量，具有 温度压力自愿 赔偿特征。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压举办对照，再将差值信号放大…后去掌握治疗 阀门，闭环掌握流过通道的的 流量使之与设定的流量相称。分流器断定主通道的流量。与之配套的D08系列流量显示仪上配置有稳压电源，3位折半字电压外，设定电位器，外设、内设■转 换和三位阀控开…合○○ 比及。本掌握器与流量显示仪结合后的做事道理如图1所示。掌握器输出的流量检测电压与流过通 道的 质料流量成正比，满刻度（F。S）流量检测输▽★出电压为+○5V。掌握操作通常 正在流 量显示仪进步行。当设定开合打到“内”设时，由设定电位器W掌握流量。当打到“外“设时，由用户○△供◁ 应的0~ D 08压掌握流★量。正在显示面板上还配置有三位 阀门 掌=握▽开合，当置“合上”位时，阀门合上；当置“冲洗”位时，阀门开到最大，以便气道冲洗，或动作流量计应用；当置于“阀控”时，自愿掌握流量。5．应▽用门径 和□操作次▽◁序（纠合D08系列★■流量显示◁仪）5．…1开 机操作○应用 时紧要操作正◁在流量显示仪进步 行。阀门掌握合及流量开合及流量设定○电位器正 在前面板上，流量设定的内部或外部信号选取开合通常正在后面板上。当设定选取开合打到“内”时，用设定电位器设定流量，打到“外”时，由外部信号设定流量。尊龙凯时有如下几种开机操作门径：a。阀开合处于“阀控”位时，先开气后开电源，则气体 流量软=○○启 动经◁ 由约20秒▽钟○ 抵达原设定值的±○△5%○ 以内。通常应先将阀合上，欠亨气，通电预热15分 钟○从此再正式◁○做事。b。阀开合处于“合上”位，正在开电源预热并开气后，再将阀开合置至“阀控”位，则流量经 ★由几秒○ 钟=后抵○ 达设定流量的 ○±2%以内。尊龙凯时这是推举操作门径。c。阀开合处下“冲洗”位，正在开电源、开气后，则管道流量抵达最大值，起到吹倾 ★ 耳 细听 气道的 ◁○效 率。d。阀开合处于“阀控”位，而且设定不为零时，倘若先开电源，后气，则流量将会有一个大过冲，然后急忙安定至设定值。e。先开电源斯◁普瑞喷嘴选型手册 、将阀开合置到“合上”位，将设定值调到零，再开气，待预热至零点安定后，再转“阀控”位，然后将 设=定流量调至必要 值○<△ st▽rong >锥形孔板流量★计○，则本质流量跟踪设 定值而改换，无过冲。这是最佳操作门径斯 普瑞喷嘴选型手册。5．2冲洗效力欲用 气体吹洗管中，可将阀开合置为“冲洗”位，冲洗○时的○流量可达该△掌握器额定满量程流量的几倍○几至几十倍。倘若不勇气，则凭据必要能够抽真空以袪除 MF C内部及其上逛剩余气△体。然后将阀合上，再开气，并转到“阀控”位做事。5．3外 设和与揣测机D/A转换■器结合若流量设定应 …用外部△信号，应将凤定选取开合打至“外”，并从显示仪上的外控信号插座送□入0~+5．00V外设电压。若用户外接电位器设定，能够 用一 个3．○ 3K支配的众 圈电位 器，将心口不一端结合到外控信号插△座“5．00V”和“0电平”（信号地）上即可锥形□孔板流量计 。也可直接与揣测机的数△模转换器结合，完成自愿掌握。注。